甘肅經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)淄博訊（新甘肅·甘肅經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)記者 陳功章）4月15日，“行走黃河”主題報(bào)道采訪團(tuán)走進(jìn)山東齊氟新材料有限公司。在淄博市，化工產(chǎn)業(yè)作為工業(yè)第一支柱產(chǎn)業(yè)，已構(gòu)建起完備的產(chǎn)業(yè)體系，石油化工、精細(xì)化工、化工新材料三大板塊協(xié)同發(fā)展，聚烯烴、聚氨酯、氟硅材料、工程塑料四大特色產(chǎn)業(yè)集群蓬勃興起。其中，氟硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢(shì)頭尤為強(qiáng)勁，年產(chǎn)能超200萬噸，產(chǎn)品覆蓋無機(jī)氟化物、有機(jī)硅單體等多個(gè)品類。該產(chǎn)業(yè)成功入選山東省“十強(qiáng)”產(chǎn)業(yè)“雁陣形”集群，多項(xiàng)產(chǎn)品打破國(guó)外技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化替代。

“一期項(xiàng)目的核心產(chǎn)品是電子級(jí)超純PFA。在半導(dǎo)體制程工藝中，常使用強(qiáng)酸強(qiáng)堿氣體進(jìn)行‘刻蝕’，運(yùn)輸和承載這些氣體，需要一種電子級(jí)PFA新材料。”山東齊氟新材料有限公司副總經(jīng)理張傳本介紹，此前我國(guó)已能生產(chǎn)工業(yè)級(jí)PFA，但用于半導(dǎo)體行業(yè)的電子級(jí)PFA，長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。

為何電子級(jí)超純PFA如此難制造？關(guān)鍵在于其對(duì)純度要求極高。張傳本介紹：“超純PFA可將半導(dǎo)體制程中金屬離子含量由ppm級(jí)（百萬分之一）控制到ppb級(jí)（十億分之一），是14nm尤其是7nm以下高端芯片制程不可替代的材料。”

高青縣作為淄博氟硅材料產(chǎn)業(yè)的重要布局區(qū)域，憑借20多年的氟化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)，成功入選山東省特色產(chǎn)業(yè)集群。2023年，其全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)值近百億元。坐落于此的山東齊氟新材料有限公司，成為推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)的核心力量。

山東齊氟新材料有限公司成立于2022年，公司以支撐新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展為使命，全力打造高端氟材料板塊。

二期項(xiàng)目已經(jīng)動(dòng)工，其核心產(chǎn)品年產(chǎn)3000噸的氟橡膠，是重要的密封材料；年產(chǎn)6000噸的含氟換熱液，是AI、數(shù)據(jù)中心用的換熱介質(zhì)，具有廣闊的市場(chǎng)前景。